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당사는 주로 반도체 제조 시설에 들어가는 진공펌프 연동 utility platform인 stacker system 장비 제조와 초고진공 펌프에 들어가는 정밀가공부품을 공급하고 있습니다. 가. 장비제조부 장비제조부는 2003년 개발한 stacker system을 제조하고 있습니다. 이 장비는 진공펌프에 각종 유틸리티를 제공하고 공정배관 길이 조정, 펌프 소음 억제, 진동 보호 기능 등을 제공함으로써 진공 펌프 가동환경 최적화와 동시에 반도체 생산 공정 효율증대에 중요한 역할을 하고 있습니다. 또한 transfer chamber, load lock chamber 등에 설치되는 on tool pump에 유틸리티를 제공하는 제품인 on tool setting kit를 제조하고 있습니다. 나. 정밀가공부 당사는 진공펌프 부품 정밀가공사업을 영위하고 있습니다. 진공펌프는 고진공 영역 형성이 중요하기 때문에 부품의 정밀가공이 필수적 입니다. 1 μm 단위의 정밀 가공장비를 보유하고있고, 0.1 μm 단위의 수치 측정까지 할 수 있는 3차원측정 장비를 통해 고정밀 가공이 필요한 진공펌프 부품들을 안정적으로 공급하고 있습니다.
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